洁净系统设计突出节能理念_行业新闻_新闻中心

　　好的洁净室设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本最低，洁净度安全性最高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内(比如洁净隧道和微环境)是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。

　　MAU是洁净系统运行成本最高的部分，因此在设计上可以考虑通过热回收进行节能。夏季可以利用新风空调的预热盘管将热回收到再热盘管，节省热水用量;采用喷淋室加湿设计，可以减少热损失，且可以稳定而高效地去除新风中的AMC，延长化学过滤器寿命。在运行上要有效控制工艺排风量以降低新风用量，降低MAU送风温度，减少加热量和洁净室内冷负荷。

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