单向流洁净室的气流是从室内的送风一侧平稳地流向其相对应的回风一侧。因此,单向流洁净室的主要特点表现为:将污染源散发出的尘、菌污染物在未向室内扩散之前就被压出室外;洁净空气对污染源起到隔离作用,隔断尘、菌污染物向室内扩散。

单向流气流流型设计的十分重要的特性之一是要确保生产工艺的关键部位的气流流型尽可能不受到干扰,但实际工程应用中,在单向流洁净室内不可避免地存在着各种类型的物理障碍,如生产工艺设备、人员的移动和产品的传输等,为防止在洁净室内对污染敏感的工作活动区周围产生空气紊流,应采用必要的技术措施避免气流干扰和不同工作台之间产生交叉污染。

单向流洁净室能够保证室内达到严格的洁净度要求,但单向流洁浄室的换气次数也高达200~600次/h,是非单向流洁净室的10~20倍,因此它的造价和运行费用要远高于非单向流洁净室。单向流方式一般用于空气洁净度等级为1级至5级的洁净室。